Complementary Methods of Enhancing Resolution of Optical Lithography
, 2018 (extreme ultraviolet); многолучевая электронная литография (multi-beam electron lithography; ML); хемоэпитаксия; графоэпитаксия. The DSA method, its basic principles and actual problems have been considered.
Krasnikov Gennady Ya. +3 more
semanticscholar +1 more source
Археология Евразийских степей, 2017 В статье представлен анализ деятельности «Общества археологии, истории и этнографии» при Казанском университете. Посредством разнообразных форм, начиная от лекционно-пропагандистской деятельности, а также привлечением местной общественности на свои ...
Жибек Сагинбаевна Бегимбаева
semanticscholar +1 more source
Maskless lithography at new level of productivity
, 2018 Безмасковая лазерная литография позволяет упростить производство полупроводниковых приборов благодаря исключению из технологического процесса операций, связанных с изготовлением, использованием и хранением фотошаблонов.
S. Preuss
semanticscholar +1 more source
Nanodevice fabrication technologies with advanced high resolution electron beam lithography systems
, 2015 Электронно-лучевая литография (ЭЛЛ) широко применяется в производстве наноразмерных устройств. Японская корпорация Crestec разработала модель CABL-UH – систему ЭЛЛ высокого разрешения с ускоряющим напряжением 130 кВ.
M. Shibata, T. Obata, H. Ohyi
semanticscholar +1 more source
Нанохайку и нанохайга, или как нанотехнологиите се срещат с изкуството [PDF]
, 2017 The present work combines science and arts in an innovative and intriguing way. Using Electron Beam Lithography (EBL) and Directed Self-Assembly (DSA) of Block Co-Polymers (BCP) in conjunction with the shortest poetic form, haiku, the paper attractively ...
Gangnaik, Anushka S. +5 more
core
Развитие специального образования для детей с психофизическими нарушениями в 1860-1923 гг. (из фондов педагогического музея Украины) [PDF]
, 2016 У статті проаналізовано журнали педагогічної тематики в часових межах від 1860 до 1923 року («Вестник воспитания», «Журнал Министерства народного просвещения», «Народное образование», «Образование», «Путь просвещения», «Русская школа», «Педагогический ...
Шевченко, В.М.
core
Видатний організатор інженерної освіти в Україні Віктор Львович Кирпичов [PDF]
, 2010 Висвітлюється діяльність видатного вченого, педагога, організатора вищої технічної освіти в Україні, першого директора Харківського технологічного і першого ректора Київського політехнічного інститутів, «батька російських інженерів» Віктора Львовича ...
Бєсов, Л.М. +1 more
core +3 more sources
РОЗВИТОК НАРОДНОЇ ОСВІТИ В КАТЕРИНОСЛАВІ НА ПОЧАТКУ ХХ ст.: ЗА МАТЕРІАЛАМИ МІСЬКИХ КОШТОРИСІВ [PDF]
, 2009 Початок ХХ ст. позначився значним пожвавленням політичного життя Російської імперії: активізацією діяльності політичних партій, революцією і проголошенням Маніфесту 1905 р., Першою світовою війною, громадянською війною тощо.
Двуреченська, Олександра Сергіївна
core
Особенности проектирования высокоточных производств в условиях сложившейся городской застройки
Academia: Архитектура и строительствоВ статье рассматриваются основополагающие принципы проектирования и критерии размещения высокоточных производств, предназначенных для выпуска микроэлектронных компонентов и исследования структур микронного и субмикронного уровней.
Vladimir Smirnov
doaj +1 more source
Передумови зародження колективних форм науково-дослідної роботи у Національному технічному університеті "Харківський політехнічний інститут" [PDF]
, 2011 Аналізуються передумови, у яких відбувалось формування колективів дослідників у одному з найстаріших вишів України – НТУ "ХПІ". Наведені дані про стан матеріально-технічного забезпечення науково-дослідної і викладацької роботи у перші десятиліття ...
Гутник, Марина Валеріївна
core