Results 21 to 30 of about 127 (103)
Особенности проектирования высокоточных производств в условиях сложившейся городской застройки
В статье рассматриваются основополагающие принципы проектирования и критерии размещения высокоточных производств, предназначенных для выпуска микроэлектронных компонентов и исследования структур микронного и субмикронного уровней.
Vladimir Smirnov
doaj +1 more source
Direct laser thermochemical writing on titanium films for rasterized images creation
Creating greyscale photomasks is an uncommon technical problem which in some cases can be solved by rasterization. At the same time, existing works on the direct laser thermochemical recording show the possibility of forming local areas of transparency ...
A. D. Pivovarov +2 more
doaj +1 more source
The article is devoted to the history of the rare books sector of Scientific library of South-Ukranian National Pedagogical University named after K. D. Ushynsky. Represented the information on the personal collection of B. V. Varneke and P. O.
И. В. Панченко
doaj
Ионно-лучевая литография: моделирование и аналитическое описание поглощенной в резисте энергии
Я.Л. Шабельникова +1 more
openalex +2 more sources
Complementary Methods of Enhancing Resolution of Optical Lithography
Krasnikov Gennady Ya. +3 more
semanticscholar +1 more source
Nanodevice fabrication technologies with advanced high resolution electron beam lithography systems
M. Shibata, T. Obata, H. Ohyi
semanticscholar +1 more source
МИКРОЭЛЕКТРОНИКА: РАЗВИТИЕ ПРОИЗВОДСТВЕННОЙ БАЗЫ, ПРОДАЖИ ОБОРУДОВАНИЯ И EUV-ЛИТОГРАФИЯ
Расширение применения ИС и других полупроводниковых приборов как в традиционных для них областях, так и в новых сферах ведет к расширению производственной базы и увеличению закупок оборудования для производства с использованием перспективных процессов с ...
М. Макушин
openalex +2 more sources
ИОННО-ЛУЧЕВАЯ ЛИТОГРАФИЯ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ОРГАНИЧЕСКИХ РЕЗИСТОВ: ПРЕИМУЩЕСТВА И ВОЗМОЖНОСТИ
В работе рассматриваются несомненные преимущества метода ионной литографии по сравнению с широко используемой электронно-лучевой литографией. Описываются методики определения чувствительности и контраста органических резистов, приводятся результаты ...
С.И. Зайцев +1 more
openalex +2 more sources

