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一种可主动驱动变形的薄膜式柔性压力传感器

open access: yes
本申请涉及包括应变检测层、主动驱动层和辅助驱动层,所述应变检测层与所述主动驱动层贴合,平置于支撑层之上;所述主动驱动层用于使所述压力传感器产生与压力方向相反的微小挠度;所述主动驱动层用于提供驱动力,当驱动力增加到一定大小,由所述应变检测层与所述主动驱动层组成的复合层薄膜发生变形模式的转变,局部区域脱离其支撑层表面;所述应变检测层可以检测薄膜变形,得到薄膜变形随所述驱动力的变化趋势,根据变形模式转变临界点对应的驱动力大小可以得到待测压强值。本发明提出的薄膜式柔性压力传感器厚度超薄,容易实现和曲面表面的贴合,
李爽, 苏业旺, 蓝昱群
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