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一种相变存储器的制作方法,该方法包括:步骤1:在衬底上淀积一层第一绝缘材料层;步骤2:在第一绝缘材料层上淀积一层金属层,作为相变存储器的下电极;步骤3:在金属层上制备一层第二绝缘材料层;步骤4:在第二绝缘材料层上采用微纳加工技术制备金属插塞电极的小孔;步骤5:采用无电化学镀的方法在小孔内填充金属作为插塞电极;步骤6:在第二绝缘材料层上淀积一层相变材料;步骤7:在相变材料上淀积一层金属材料,作为相变存储器的上电极;步骤8:在金属材料上淀积一层第三绝缘材料层;步骤9:在第三绝缘材料层上钝化开孔;步骤10 ...
马慧莉 +6 more
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一种相变存储器的制作方法,该方法包括:步骤1:在衬底上淀积一层第一绝缘材料层;步骤2:在第一绝缘材料层上淀积一层金属层,作为相变存储器的下电极;步骤3:在金属层上制备一层相变材料层;步骤4:在相变材料层上用薄膜淀积工艺淀积一层第二绝缘材料层;步骤5:在第二绝缘材料层上采用微纳加工技术制备金属插塞电极的小孔;步骤6:采用无电化学镀的方法在小孔内填充金属作为插塞电极;步骤7:在第二绝缘材料层上淀积一层金属材料,作为相变存储器的上电极;步骤8:在金属材料上淀积一层第三绝缘材料层;步骤9 ...
马慧莉 +3 more
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[Advances in Surgical Approach and Resection of Non-small Cell Lung Cancer]. [PDF]
Yang H, Mu J.
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一种制作立体神经微电极的方法,包括以下步骤:步骤1:取一衬底;步骤2:在衬底正反面生长掩膜,并做对称图案化处理,得到微电极阵列的原始形状;步骤3:从衬底正反面同时刻蚀,将多余部分去除;步骤4:去除剩余的掩膜;步骤5:对上述步骤得到的结构,采用腐蚀的方法进行光滑和变尖处理,得到微电极阵列,该微电极阵列包括多个电极,该电极的尾端相连接;步骤6:在微电极阵列的表面生长金属层;步骤7:在微电极阵列表面的金属层上再生长绝缘层 ...
陈远方 +6 more
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[Neonatal transport for disasters]. [PDF]
Group of Pediatric Disaster +4 more
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[Development, Application Details, and Prospects of Uni-VATS on Lung Cancer Radical Operation under the Concept of "Precise Medical Treatment"]. [PDF]
Deng Y, Hao Z, Fu X.
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[Construction and biocompatibility in vitro evaluation of electrospun-graphene/silk fibroin nanofilms]. [PDF]
Zhao Y, Niu C, Gong J, Wang H, Yang Y.
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[Short-term Outcome of Uniportal and Three Portal Video-assisted Thoracic Surgery for Patients with Non-small Cell Lung Cancer]. [PDF]
Wang G +8 more
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[The research on cardiac volume-time relationship based on retrospective electrocardiograph four-dimension computer tomography data collection and structured sparse algorithm]. [PDF]
Li M +6 more
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一种基于二维电子气材料的半导体磁敏型传感器,包括:一衬底,为半绝缘GaAs衬底或者半绝缘Si衬底;一复合缓冲层,该复合缓冲层为十字结构,该复合缓冲层生长在衬底上的中间部位;一下势垒层,该下势垒层生长在十字结构的复合缓冲层上;一下掺杂层,该下掺杂层生长在十字结构下势垒层上;一下隔离层,该下隔离层生长在十字结构的下掺杂层上;一沟道层,该沟道层生长在十字结构下隔离层上;一上隔离层,该上隔离层生长在十字结构沟道层上;一上掺杂层,该上掺杂层生长在十字结构上隔离层上;一上势垒层 ...
张杨, 曾一平
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