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一种用于金属化学气相沉积设备反应室的进气喷淋头,包括：一混气室,该混气室为一桶状,在混气室的上面或侧面连通有多个进气通道；一冷却匀气喷头,固接于混气室的下面。其中冷却匀气喷头包括：一上盖板、一下盖板和侧壁,该上盖板、一下盖板和侧壁构成密封的空间,该上盖板和下盖板之间贯通有多个进气通道 ...
李晋闽 +6 more
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Gaoya dianqi, 2019 盆式绝缘子是气体绝缘金属封闭开关设备（GIS）中的重要部件,文中将对盆式绝缘子的裂纹检测技术进行研究。主要进行振动检测技术在盆式绝缘子裂纹缺陷检测方面的可行性研究,对独立的盆式绝缘子进行尺寸较大的径向贯穿型裂纹制造,对比进行完好和损坏状态下的盆式绝缘子振动模态实验,分析固有频率值差值以及频率图谱的变化情况,提出基于机械振动技术的盆式绝缘子裂纹故障判断方法,为机械振动检测技术的后续研究和应用推广提供了重要依据。
刘荣海 +5 more
doaj
, 2008 本发明涉及直热式金属毛细管色谱柱或石英毛细管色谱柱与石英毛细管引管连接的接口，该接口主要由微型二通、耐高温绝缘套、薄壁金属套筒、电热丝、保温层、电极引线、温度传感器和温度控制器组成。本装置将直热式金属毛细管色谱柱或石英毛细管色谱柱通过微型二通与一段石英毛细管相连，该段石英毛细管插入气相色谱仪的进样口或检测器。薄壁金属套筒外绕电热丝对微型二通进行恒温加热。本发明解决了直热式金属毛细管柱和气相色谱仪连接的电气绝缘问题，还解决了因接头热容量远大于色谱柱而产生的接口冷区。装置简单，安装方便，功耗低 ...
许 峰, 观文娜, 关亚风
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Research on New Type of 252kV GIS Design Concept and Key Technologies [PDF]
, 2013 随着社会经济的繁荣进步，用电量需求的不断增长，城市变电站的新建和扩容需求日益强烈。目前国内已有的252kV气体绝缘金属封闭开关设备（GasInsulatedSwitchgear，简称GIS)由于占地面积大，SF6气体使用量过多，内部电场复杂。为了减少在高压开关设备中用于灭弧和绝缘的SF6这种温室气体的用量，对新一代的252kVGIS进行优化处理势在必行。GIS设备的小型化、易操作、智能化、高可靠性、制造和运行低成本已成为一种发展趋势。本文在已有的理论和实践的基础上，对GIS的技术发展进行了研究和探讨 ...
胡辉
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本实用新型公开了一种化学气相淀积外延设备用的进气装置，该装置包含：一进气法兰盘，该法兰盘与筛板法兰通过密封胶圈密封连接；一匀气筛板，该匀气筛板嵌装入该进气法兰盘底面中央的圆形沉槽中；一中层筛板，该中层筛板与筛板法兰通过密封胶圈密封连接，中层筛板上的管与筛板法兰所对应的管对接在一起；一筛板法兰，该筛板法兰与反应腔密封连接。该装置将各种不同种类的原料气通过多个喷气筛孔喷射进入反应室内，并且不同的原料气相互交错，空间上分布均匀。该装置加工工艺简单，成本低，成品率高，应用在半导体外延材料制备过程中 ...
史永生, 王海, 朱建军
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, 2017 本发明公开了一种化学气相沉积设备，包括基底存放腔室、样品收集腔室、反应腔室、过渡腔室及将基底料带由基底存放腔室运送至样品收集腔室的物料输送装置，基底存放腔室、样品收集腔室、反应腔室和过渡腔室形成密闭的输料通道，反应腔室和过渡腔室位于基底存放腔室和样品收集腔室之间，且反应腔室至少为两个，相邻两个反应腔室通过过渡腔室间隔。物料输送装置包括位于基底存放腔室的第一卷绕传送装置及位于样品收集腔室的第二卷绕传送装置。本申请提供的化学气相沉积设备有效地抑制相邻反应腔之间的反应气体的扩散 ...
汪伟, 刘兆平, 白晓航
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Gaoya dianqi, 2007 西高所公司新型开关设备通过国家两行业鉴定2007年2月11日,受中国机械工业联合会的委托,由陕西省机械行业管理办公室和陕西省电力公司联合主持会议,对西安高压电器研究所有限责任公司和所属的电器制造有限责任公司、上海西高所公司联合研制的“ZF23-126/T2000-40型气体绝缘金属封闭开关设备”进行了国家两行业新产品技术鉴定,并顺利通过鉴定。
doaj
一种纳流体晶体管的制备方法，包括：在衬底上生长一层电热绝缘材料层和基底材料层；用光刻和干法刻蚀的方法去除基底材料层的四边，形成制备侧墙的基底；在该电热绝缘材料层的上面和基底材料层的表面及侧面淀积侧墙材料层；去除基底材料层上表面的和电热绝缘材料层表面的侧墙材料层，形成高和宽均为纳米尺寸的侧墙；去除基底材料层；在该侧墙材料层的一条边上搭上一条制作纳流管道的抗腐蚀绝缘材料层；再在抗腐蚀绝缘材料层上搭上一条制作栅电极的抗腐蚀的金属层；去除侧墙材料层，保留抗腐蚀绝缘材料层和抗腐蚀的金属层，形成一纳流管道 ...
杨富华 +3 more
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基于Ansys的252kV GIS用三相共箱式电流互感器研发
Gaoya dianqi, 2016 为降低生产成本和装配难度,笔者对某型252 kV气体绝缘金属封闭开关设备（GIS）用"三相共箱式"电流互感器（CT）进行了优化设计,并利用Ansys软件对CT气室的电场强度及其壳体的机械强度进行了数值分析计算。结果表明,导体与屏蔽罩的同轴间隙是场强集中区,CT壳体小法兰与筒体连接外侧为应力薄弱区,壳体机械强度和CT整体电场强度均满足设计基准且具有一定的裕度。优化方案结构更紧凑,重量更轻,成本更低,总高度降低了340 mm,达到了预期目标。
王辉
doaj