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一种高密度相变存储器的制备方法

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一种高密度相变存储器的制备方法,包括:在衬底上淀积一层金属层;在金属层上面淀积多周期的上电极层,该多周期的上电极层的每一周期包括:一层电热绝缘材料和在其表面淀积的金属材料,每生长一层金属材料后在其表面光刻一个凹槽;在多周期的上电极层上用薄膜淀积工艺淀积电热绝缘材料层,然后将表面平坦化;采用光刻方法和干法刻蚀的工艺在电热绝缘材料层的上面制备插塞小孔,该插塞小孔的宽度大于每一层金属材料上的凹槽的宽度;在插塞小孔的孔壁上的表面淀积一层相变材料,得到管状结构;采用化学气相淀积工艺 ...
马慧莉   +5 more
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[Molecular characteristics for poor prognosis related renal cell carcinoma with lymph metastases]. [PDF]

open access: yesBeijing Da Xue Xue Bao Yi Xue Ban
Shu F   +10 more
europepmc   +1 more source

不同锆锡比对PLZST铁电陶瓷相变行为的影响

open access: yes, 2016
对不同锆锡比的Pb_(0.97)La_(0.02)(Zr_(0.12+x)Sn_(0.7-x)Ti_(0.18))O_3铁电陶瓷的铁电和相变行为进行了系统的研究,阐明了组成和温度对PLZST铁电陶瓷的相变效应的影响规律.研究结果表明:PLZST铁电陶瓷均呈现典型的铁电体电滞回线.随着温度的升高,PLZST12/70/18,PLZST52/30/18,PLZST62/20/18发生铁电-顺电相变,PLZST22/60/18,PLZST32/50/18,PLZST42/40/18为铁电-反铁电-顺电相变.
曾涛   +4 more
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基于熔盐相变材料的开发及储热应用研究

open access: yes, 2015
熔盐固-液相变材料储热密度大,在中高温储热范围(500oC)具有较好的应用前景[1-3]。采用固体颗粒作为结构填料,探讨复合结构储热材料的储/释热性能以及腐蚀性是目前研究的热点[4,5]。本文采用热力学计算方法结合材料物相、结构表征等手段分别探讨了氯化钾、硫酸钠、二元碳酸共晶盐作为固-液相变材料,在各自熔点以上50 oC的条件下与常规陶瓷材料的热化学相容性。并进一步研究了不同颗粒对熔盐相变特性、熔盐液相的热稳定性以及腐蚀性的影响。该研究对于探讨陶瓷废料 ...
丁玉龙   +6 more
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[A population-based survey of myopia on primary school students in an administrative district, 2019 to 2024]. [PDF]

open access: yesBeijing Da Xue Xue Bao Yi Xue Ban
Yang M   +8 more
europepmc   +1 more source

垂直相变存储器的制备方法

open access: yes
一种垂直相变存储器的制备方法,包括如下步骤:步骤1:在衬底上生长第一金属层作为底部电极;步骤2:在第一金属层上淀积第一绝缘材料层;步骤3:采用微纳加工技术将该第一绝缘材料层制作成纳米尺寸的绝缘柱体;步骤4:在第一金属层上和绝缘柱体的表面淀积第二金属层作为加热电极;步骤5:在第二金属层上淀积第二绝缘材料层;步骤6:用化学机械抛光的方法抛光表面,同时切断绝缘柱体顶部的第二金属层的连接,形成环形的加热电极;步骤7:最后淀积相变材料和顶部电极 ...
马慧莉   +5 more
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相变储热材料研究进展

open access: yes, 2010
对储热特别是相变储热材料的研究进展进行了综述.根据不同相变温度对相变储热材料进行分类,重点介绍了目前广泛应用的相变储热材料的重要性能、制备方法、应用及存在的问题,并对相变储热材料的下一步研究进行了展望 ...
丁玉龙   +6 more
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