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Research of the vacuum manipulator cotrol methods
, 2007 集束型制造设备已经成为半导体生产半导体行业中的主流制造设备。在集束型制造设备中，一台真空机械手负责在不同的制造工序即各制造腔体间搬运晶圆，作用不可或缺。目前真空机械手由200mm晶圆规格向300mm晶圆规格发展，国外进行技术封锁，我国真空机械手相关研究严重滞后。本文以科技部“超大规模集成电路制造装备重大专项”为依托进行了真空机械手控制方法的研究。本文分析了真空机械手需要解决的关键问题，在研究各种先进控制方法的基础上，对于真空机械手建模、控制器结构、运动学控制方法 ...
谢冬梅
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Gaoya dianqi, 2017 削减与替代SF6气体成为电力开关领域研究人员为应对全球气候变化所担负的历史使命。发展高电压等级真空开断技术是削减与替代SF6气体的有效手段。文中从真空绝缘、大电流真空分断,操动机构与分、合闸曲线控制技术,额定电流的提升4个方面阐述了高电压等级真空开断的关键技术。介绍了高电压等级真空断路器在国内外的应用与运行情况。并从8个方面展望了高电压等级真空开断技术发展的前景,包括采用陶瓷外壳真空灭弧室及多重屏蔽罩结构、额定电流提升技术、真空灭弧室外部采用SF6替代气体绝缘、新型操动机构技术、气体绝缘封闭"真空 ...
王建华, 耿英三, 刘志远, 闫静
doaj
, 2007 在指定路径上的运行时间是衡量真空机器人性能的重要指标，使用时间最优轨迹规划方法能够缩短该运行时间.Frog-leg型结构的真空机器人是同时具有主动与从动关节的并联机构，进行轨迹规划之前必须进行运动学及动力学求解.在此基础上提出Frog-leg型结构的真空机器人时间最优轨迹规划方法，规划出在允许最大速度与加速度范围内的加速度、速度与位置曲线.利用Matlab软件进行了仿真研究.仿真实验结果证明，与梯形轨迹规划方法相比 ...
徐方, 谢冬梅, 曲道奎
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[Application of hybrid attention guided dual-path residual learning in magnetic resonance imaging diagnosis]. [PDF]
Sheng Wu Yi Xue Gong Cheng Xue Za ZhiZhu W, Cai X, Liu Y.
europepmc +1 more source
[Maximum limb reconstruction: concept and implementation strategies]. [PDF]
Zhongguo Xiu Fu Chong Jian Wai Ke Za ZhiZhu Y.
europepmc +1 more source
, 1997 报道了MBE生长的GaAs材料VCSEL与MISS混合集成构成的光子开关。将MBE生长的超薄AlAs层氧化为A_xO_y层用作MISS器件的超薄半绝缘层，从而解决了该半绝缘层厚度的精密控制以及与VCSEL工艺相容的问题。该集成器件除光子开关功能外，还能实现光放大功能 ...
张春晖 +7 more
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, 1996 建立了纯金属真空蒸馏过程数学模型。模型包括挥发过程、气相传质过程、冷凝过程和传热过程。应用迭代法对数学模型求解，可得出纯金属在不同实验温度 ...
刘日新, 李本文, 吴铧, 戴永年
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Collision Detection and Optimal Trajectory Planning for Vacuum Robot
, 2011 真空机械手是IC制造装备的重要组成部分，它在半导体加工行业中在真空环境下进行硅片的传输和定位工作。特殊的行业应用需求对真空机械手的洁净度、控制精度、运动性能和可靠性等指标提出了极高的要求。 随着世界半导体产业的发展，真空机械手的国际和国内市场也在迅速扩大。目前国外公司垄断了真空机械手的全球市场。研发具有自主知识产权的真空机械手对于满足国内市场需求， 提高我国高科技产品的竞争力有着重要意义。因此本课题以国家科技重大专项“IC装备机械手及硅片传输系统系列产品研发与产业化 ...
邹风山
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, 2015 本发明公开了一种真空室气压调节器，具体的说是一种可以用于调控质谱仪真空室内气压的进样装置，该装置包括真空室、毛细管A、毛细管B、密封帽及密封垫、真空阀、分流腔体和真空泵；本发明的特点是通过调节真空阀,可以调控进入真空室的气体量，从而使真空室内气压可调，可以有效根据质谱仪工作需求调节质谱仪的进气量，同时可以有效减少更换毛细管过程中带来的拆卸质谱的麻烦。此外，可以通过调节真空阀使毛细管A的工作气压范围在0.1 ...
窦健 +7 more
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本发明公开了一个采用分隔式结构的大型真空实验系统， 包括试验舱、真空舱和插板阀；试验舱用于摆放试验样品， 其中一侧设有连接口；真空舱设有连接口， 用于与试验舱的连接口相连接；真空舱连接有真空泵， 能够对与真空舱相连通的试验舱的内部抽真空， 以给试验样品提供真空的试验环境；插板阀设置在试验舱和真空舱之间的连接口处， 当插板阀闭合时， 试验舱和真空舱被分割为独立的密封空间；当插板阀打开时， 试验舱和真空舱能够形成一个统一的密封空间。本发明所提供的大型真空实验系统， 采用分隔式结构， 真空泵组在独立的空间运行，
黄河激 +6 more
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