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MEMS-Aktuator und MEMS-Aktuator-Array mit einer Mehrzahl von MEMS-Aktuatoren

Ein MEMS-Aktuator (10) umfasst ein Substrat (12), eine ersten Elektrodenstruktur (14), die bezüglich des Substrats (12) feststehend angeordnet ist, wobei die erste Elektrodenstruktur (14) eine Mehrzahl von Teilelektrodenstrukturen (14-1, ..., 14-n) aufweist, die jeweils eine Kantenstruktur (14-0) aufweisen und getrennt voneinander elektrisch ...
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MEMS

2016
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Recent Developments in Polymer MEMS

Advanced Materials, 2007
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Dual-optimization for a MEMS-INS/GPS system during GPS outages based on the cubature Kalman filter and neural networks

Mechanical Systems and Signal Processing, 2019
Chong Shen, Yu Zhang, Huiliang Cao
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MEMS

2006
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A review of vibration-based MEMS piezoelectric energy harvesters

Energy Conversion and Management, 2011
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MEMS Microdisplays

2012
Hakan Urey, Sid Madhavan, Margaret Brown
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Displays, Sensors, and MEMS -- MEMS and NEMS

2006 International Electron Devices Meeting, 2006
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MEMS reliability

Microelectronics Reliability, 2003
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Mem

2014
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