Results 321 to 330 of about 235,895 (350)

Development Trends and Perspectives of Future Sensors and MEMS/NEMS

Micromachines, 2020
Jianxiong Zhu, Xinmiao Liu, Qiongfeng Shi   +2 more
exaly  

Electrostatic pull-in instability in MEMS/NEMS: A review

Sensors and Actuators A: Physical, 2014
Wen-Ming Zhang, Han Yan, Zhike Peng
exaly  

Integrating MEMS and ICs

Microsystems and Nanoengineering, 2015
Andreas C Fischer, Fredrik Forsberg, Simon J Bleiker   +2 more
exaly  

Design and applications of MEMS flow sensors: A review

Sensors and Actuators A: Physical, 2019
Amir Razmjou, Yasin Orooji, Ajay Giri Prakash Kottapalli   +2 more
exaly  

MEMS Scanning Mirror

Sensor Review, 2002
openaire   +1 more source

MEMS in metrology, metrology in MEMS

2007 IEEE Instrumentation & Measurement Technology Conference IMTC 2007, 2007
openaire   +1 more source

Clinical assessment of a non-invasive wearable MEMS pressure sensor array for monitoring of arterial pulse waveform, heart rate and detection of atrial fibrillation

Npj Digital Medicine, 2019
Matti Kaisti, Mojtaba Jafari Tadi, Tuija Vasankari   +2 more
exaly  

MEMS-Aktuator und MEMS-Aktuator-Array mit einer Mehrzahl von MEMS-Aktuatoren

Ein MEMS-Aktuator (10) umfasst ein Substrat (12), eine ersten Elektrodenstruktur (14), die bezüglich des Substrats (12) feststehend angeordnet ist, wobei die erste Elektrodenstruktur (14) eine Mehrzahl von Teilelektrodenstrukturen (14-1, ..., 14-n) aufweist, die jeweils eine Kantenstruktur (14-0) aufweisen und getrennt voneinander elektrisch ...
openaire  

State-of-the-art MEMS and microsystem tools for brain research

Microsystems and Nanoengineering, 2017
John P Seymour, Euisik Yoon
exaly  

MEMS

2016
openaire   +1 more source