Neuartige Verfahren für optische 3D-Geometrie- und Schwingungsmessungen in Mirkosystemen : Abschlussbericht Polytec ; Dreidim (16SV1934) ; Projektantrag: Mess- und Prüftechnik zur Bestimmung von fertigungsrelevanten Parametern von Mikrosystemen auf Waferebene Partest ; Projektzeitraum: 01.01.2005 - 31.12.2007
Verbundprojekt: InnoRegio KONUS - Kooperative Nutzung von Datennetzen für die Bildung und berufliche Integration von blinden und sehbehinderten Menschen - Umsetzungsphase (KONUS-Konzeption) : Projektantrag für die Geschäftsstelle des Vereins Region KONUS ; Schlussbericht zum Vorhaben ; Laufzeit des Vorhabens: 2001-11-01 bis 2002-12-31
