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本发明提供半导体材料表面缺陷测量装置及表面缺陷测量方法,属于半导体测试领域。装置包括样品台、原子力显微镜导电探针、电压源、压电激振陶瓷、光学显微镜系统、单色仪、光电探测器和锁相放大器,电压源、压电激振陶瓷均与原子力显微镜导电探针相连,单色仪相连、光电探测器、锁相放大器顺次相连;其方法步骤为:将待测样品放置样品台上;针尖产生一周期性的机械振动;待测样品的裸露表面产生一周期性的光;将待测样品所发出的光聚集至单色仪处进行分光;测量发光信号。本发明解决了现有技术中对测量半导体表面缺陷中电致发光光谱测量存在的问题,
钟海舰 +8 more
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综合深能级缺陷和电学性质的测试结果,证明了半绝缘InP单晶材料的电学性能、热稳定性、均匀性等性能与材料中一些深能级缺陷的含量密切相关.通过分析深能级缺陷产生的规律与热处理及生长条件的关系,给出了抑制缺陷产生,提高材料质量的途径 ...
董志远 +4 more
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利用自主研发的热壁低压化学气相沉积(HWLPCVD)系统,在5.08 cm(2英寸)4°偏轴4H-SiC衬底上生长4H-SiC同质外延膜。讨论了4H-SiC同质外延层中的两种扩展缺陷---彗星缺陷和胡萝卜缺陷,研究了这两种缺陷的起源与消除方法。研究发现采用化学机械抛光(CMP)方法可以有效去除扩展缺陷,提高外延膜的质量。另外 ...
王雷 +8 more
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机械性振动缺陷的检测是保证GIS设备安全运行的有效手段之一,尚缺乏针对GIS设备内部多种构件机械缺陷振动规律的系统性研究。文中研发了一套GIS设备振动状态高灵敏检测装置,搭建了高电压大电流GIS设备机械缺陷模拟平台,模拟出5种典型缺陷,开展了GIS设备振动信号特性试验研究。试验结果表明,在负载电流不变的情况下,电压的改变对振动信号基本没有变化;在同一电压作用下,振动信号波形保持基本不变,振动信号幅值随着负载电流增加而增加;机械缺陷情况下,振动信号主要频谱为100 Hz,并叠加了较多的高频成分 ...
蒋西平 +4 more
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机械振动疲劳条件下装配缺陷盘形悬式瓷绝缘子串元件劣化试验研究
采用自制试验装置,对无装配缺陷的和铁帽、钢脚歪斜、偏心的盘形悬式瓷绝缘子串元件进行振动疲劳试验,以评价装配缺陷对瓷绝缘子劣化及服役可靠性的影响。结果表明,经过振动疲劳试验后,无装配缺陷的瓷绝缘子基本无结构损伤,绝缘电阻> 200 GΩ;相反,振动疲劳在存在装配缺陷瓷绝缘子内外水泥胶装层中诱发微裂纹以及胶装层与瓷件界面脱粘,绝缘电阻大幅降低至10 GΩ以下。铁帽、钢脚偏心瓷绝缘子的结构损伤程度较铁帽、钢脚歪斜瓷绝缘子更大,在外胶装层中形成贯穿性的经纬交织的微裂纹,导致其绝缘电阻和机械强度劣化程度更高 ...
陈国宏 +7 more
doaj
本发明公开了一种输电线路缺陷位置的视觉计算方法,属于数字图像识别领域,目的在于帮助电力巡检与维护机器人在检测到线路缺陷后,确定缺陷位置。检测顺序如下:(1)线路缺陷的识别;(2)获取线路缺陷到相机光心的直线数学表达;(3)获取输电线路的数学表达;(4)结合缺陷的几何特征计算其位置。本发明将数字图像处理技术引入到线路缺陷诊断中,利用电力巡检与维护机器人采集的缺陷图像信息自动识别出线路缺陷位置 ...
姜勇 +8 more
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气体绝缘组合电器(gas insulated switchgear,GIS)机械性缺陷是导致设备故障的重要原因。当GIS存在机械缺陷时,在交流电动力的作用下会产生异常振动信号,通过测量GIS外壳上的机械振动信号能够实现对设备机械缺陷的检测和诊断。GIS设备内部或者外部紧固松动是现场常见的机械性缺陷,然而目前对于内外部紧固松动缺陷的振动信号特性尚不清楚,制约了现场对于该类型缺陷的检测与诊断。针对于此,文中在550 kV实体GIS试验平台上构建了内部屏蔽罩松动和外部地脚螺栓松动两类缺陷 ...
李国栋 +6 more
doaj
我们曾经提出:在a-Si∶H中光致亚稳缺陷的产生是由于Si-H键断裂,本文将进一步论述这种缺陷产生的可能微观机构,着重讨论微空洞在亚稳缺陷产生中的作用,并提出:光照不仅使悬键增多,同时也使Si-Si弱键增多的机构.中国科学引文数据库(CSCD)009702 ...
秦国刚, 孔光临
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