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MEMS电场传感器测试技术研究及进展

open access: yesGaoya dianqi, 2022
传感器测试技术对于MEMS电场传感器的研制、试产与测量应用非常重要。文中在MEMS电场传感器研发基础上分析了晶圆级测试、器件级测试、测量标定等技术及发展现状,首先介绍MEMS电场传感器原理、结构设计和传感器件的制备工艺等特点。然后重点阐述现阶段研制MEMS电场传感器的晶圆级测试内容与测试方法、器件级测试内容和测量标定系统。最后分析了国内外MEMS电场传感器测试技术的局限性和发展趋势。在此基础上指出随着国内MEMS电场传感器深入应用,MEMS传感器件测试技术将会迎来快速发展期。
雷煜卿, 焦飞, 张树华, 彭国政
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变电站工频磁场干扰对泄漏电流传感器准确度影响研究

open access: yesGaoya dianqi, 2021
文中在某1 000 kV特高压变电站测试了避雷器泄露电流传感器的实际运行问题:采集数据误差过大、变化剧烈。针对1 000 kV特高压变电站避雷器泄漏电流数据采集不准确的问题,在变电站电抗器区域搭建试验环境,验证避雷器泄漏电流传感器采集精度受工频磁场影响,工频磁场强度越大,避雷器泄露电流传感器采集误差越大,两者近似线性关系。在实验室内搭建工频磁场仿真环境,对不同结构的电流传感器在工频磁场干扰下进行采集精度试验,结果表明无源全封闭式泄漏电流传感器抗工频磁场能力最好 ...
于大洋   +6 more
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三相同壳GIS母线相电压测量解耦方法研究

open access: yesGaoya dianqi, 2021
利用感应电极与高压导体间杂散电容构成电容分压器高压臂的电压传感器是GIS中暂态电压的主要测量手段,但三相同壳GIS结构各相电场在电压传感器处相互耦合,因此需要研究解耦方法以准确测量各相VFTO电压波形。文中根据三相同壳式GIS母线三角形布置这一特点,结合电压传感器电容分压原理,首先建立了三相同壳GIS母线相电压测量系统,提出了电场耦合系数矩阵,并利用仿真手段,建立了二维仿真模型,研究电压传感器位置对电场耦合矩阵的影响。结果表明,电压传感器处于相母线"近距点"时对应电场耦合系数达到最大值 ...
谭向宇   +4 more
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GIS分布式特高频传感器的现场行波标定方法

open access: yesGaoya dianqi, 2021
局部放电带电检测仪器广泛应用于电力设备状态检测,而特高频(ultra-high frequency,UHF)传感器作为一种在线监测装置,在气体绝缘全封闭组合电器(gas insulated substation,GIS)中被广泛应用,但尚缺少针对GIS特高频传感器的现场标定方法。为解决GIS特高频传感器现场标定难题,文中提出了基于皮秒级行波注入的GIS传感器现场标定方法。首先,研究了GIS直筒、转角、盆式绝缘子等对皮秒级行波脉冲的畸变和衰减规律;其次,对比研究了不同行波脉冲注入方式对脉冲波形和幅值的影响,
王雪莉   +7 more
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一种抗强工频磁场干扰的泄漏电流传感器设计

open access: yesDianci bileiqi, 2021
针对特高压变电站避雷器泄漏电流数据采集不准确的问题,在实验室内搭建工频磁场仿真环境,对不同结构的电流传感器进行工频磁场采集精度试验,选取一种抗干扰能力最好的线圈结构进行设计。设计一种双线圈泄漏电流传感器,经实验室和现场测试,结果表明该传感器在强工频磁场干扰下采集误差≤±2%,满足泄漏电流采集技术规范要求。
于大洋, 刘英男, 丁晶, 李亚锦
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10kV真空断路器磁电速度传感器的设计

open access: yesGaoya dianqi, 2016
为检测真空断路器分合闸速度,设计了差动动磁铁型磁电速度传感器。通过对电磁感应定律公式的变换以及对永磁体磁场的有限元分析,确定了速度传感器的结构;通过对传感器输出—输入特性的分析,确定了线圈的连接方法;通过对传感器磁场分布进行分析,给出了磁通量算法及求解结果,分析了磁电速度传感器的性能;利用有限元分析软件对磁电速度传感器进行仿真分析。结果表明,磁电速度传感器的结构合理,性能良好。
黄帅姣, 赵智忠, 王春丽
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基于吉赫兹横电磁波室的特高频传感器性能评价方法研究

open access: yesGaoya dianqi, 2016
特高频局部放电检测法在GIS设备现场状态检测中得到了广泛应用,但传感器性能良莠不齐制约了现场应用效果。为研究特高频传感器对局部放电引发的电磁波信号的响应特征,基于吉赫兹横电磁波室开展了传感器扫频试验研究,在传感器有效检测频段内将一恒定电场强度扫频信号注入横电波室,检测传感器电压信号输出强度,用输出与输入信号强度比值的方式来表征传感器的响应特征,并与传统的脉冲分解法和驻波比法进行了比较分析,证明了该方法得到的结果是准确的。文中还比较了不同输入强度信号情况下传感器响应特征曲线,分析表明 ...
杨圆   +4 more
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RFID无源无线温度传感器与空心电抗器的融合设计与试验

open access: yesGaoya dianqi, 2021
空心电抗器的内部温度一直缺乏有效的监测手段。在其内部安装无源无线温度传感器可以有效解决空心电抗器内部温度监测问题。文中将RFID无源无线温度传感器安装在空心电抗器内部,对信号屏蔽,绝缘,涡流温升,电磁干扰等融合问题进行了全面的仿真、计算和实验研究,结果表明:RFID无源无线温度传感器可以克服空心电抗器屏蔽,实现正常通信;空心电抗器绝缘裕度足够,通过了雷电冲击耐受试验和匝间过电压试验考核;在温升试验中,改进后的传感器涡流温升很小,不影响对空心电抗器温度的测量 ...
周玮   +6 more
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35kV电子式电流互感器的研究

open access: yesGaoya dianqi, 2011
基于小铁心电流传感器LPCT和空心线圈原理的35 kV电子式电流互感器具有测量精度高、动态范围宽等优点,与传统的电磁式电流互感器相比有着明显的优势。文中分析了35 kV电子式电流互感器的测量用LPCT传感器和保护用PCB空心线圈电流传感器的工作原理及影响电子式电流互感器测量准确度的主要因素;采用有限元法对电子式电流互感器的电场进行仿真计算,优化了互感器的电场结构。在理论分析基础上,研制了一台35 kV电子式电流互感器,给出了准确度测试。测试结果表明,设计的35 kV电子式电流互感器符合GB/T ...
杨洪   +6 more
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传感器绝缘子的结构分析与爬电距离设计

open access: yesGaoya dianqi, 2020
传感器绝缘子被广泛用于中压开关设备中既起绝缘支撑作用也作为取电压信号的传感器。其绝缘水平直接影响开关设备整体绝缘性能。现场运行与试验结果发现,内部传感器与外部伞裙的设计严重地影响了外伞裙表面的电场分布。文中通过对5种不同绝缘结构的传感器绝缘子的爬电距离与其工频耐压水平的关系进行电场分析及极限工频耐压试验,详细分析了不同爬电距离与对应的极限工频耐压水平之间的联系,为同类产品的结构设计与仿真分析提供参考。
谭东现   +4 more
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