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绝缘体上硅的缓变阶梯型波导光栅耦合器及制作方法

open access: yes
一种绝缘体上硅的波导光栅耦合器,所述耦合器采用绝缘体上硅材料,包括:一衬底;一限制层,该限制层制作在衬底上;一波导层,该波导层制作在限制层上,该波导层上面的一端横向制作有衍射光栅;一光子器件 ...
俞育德, 李智勇, 周亮, 余金中
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非掺半绝缘磷化铟晶片的制备及其均匀性

open access: yes, 2002
对高温退火非掺磷化铟(InP)制备的半绝缘晶片的电学性质和均匀性进行了研究,非掺低阻N型磷化铟晶片分别在纯磷气氛和磷化铁气氛下进行930 ℃、80h退火均可获得半绝缘材料。但在这两种条件下制备的两种50mm半绝缘晶片却呈现出不同的电学性质和均匀性。纯磷气氛下制备的磷化铟片的电阻率和迁移率分别达到10~6Ω·cm和1800cm~2/(V·s);而在磷化铁气氛下退火获得的半绝缘片的电阻率和迁移率分别高达10~7Ω·cm和3000cm~2/(V·s)以上。对这两种半绝缘片和原生掺铁磷化铟半绝缘片的PL ...
焦景华   +4 more
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