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Proceso y caracterización de tecnología de pulido químico-mecánico (CMP) aplicada a obleas de óxido de silicio y nitruro de silicio

[EN] The CMP (Chemical-Mechanical Polishing) process constitutes one of the different stages involved in the manufacturing of photonic chips. It consists of the controlled polishing and removal of materials deposited in the various layers of a wafer, such as dielectrics or metals.
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Efecto del refuerzo Mo-Mo2N en la interfase durante la producción de uniones de nitruro de silicio/inconel 600

, 2018
Instituto de Investigación en Metalurgia y Materiales.
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Estudio de la unión de nitruro de silicio a un acero inoxidable AISI 304 empleando Cu-Zn como elemento de unión

, 2007
Instituto de Investigación en Metalurgia y Materiales.
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Evaluación experimental de sensores fotónicos integrados basados en estructuras interferométricas bimodales de cristal fotónico en nitruro de silicio

[EN] At present, nanotechnology is a field that is constantly growing and can be used in a large number of fields, such as medicine, for example. Within the medical field, one of its main applications is the development of biosensors, where nanophotonic technology is one of the most interesting for the development of analysis systems.
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Diseño, simulación y caracterización de plantillas basadas en GaSb y estructuras fotónicas pasivas de nitruro de silicio para la integración monolítica de láseres en el infrarrojo medio.

[ES] La fotónica integrada es una disciplina clave en el desarrollo de nuevas tecnologías en telecomunicaciones, sensores y computación, entre otras. En este contexto, los circuitos fotónicos permiten la manipulación y propagación de la luz, mientras que los láseres actúan como fuente de emisión.
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Composición y propiedades ópticas de nanocúmulos de silicio embebidos en películas delgadas de nitruro de silicio clorado

, 2013
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Estudio de las propiedades fotoluminiscentes de películas de nitruro de silicio no estequiométrico

, 2011
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Estudio sobre la fotoluminiscencia y la formación de nanocúmulos de silicio en peliculas delgadas de nitruro de silicio

, 2008
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Obtencion de nanocumulos de silicio embebidos en peliculas delgadas de nitruro de silicio : caracterizacion y estudio de fotoluminiscencia

, 2007
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Estudio y construcción de un dispositivo electroluminiscente empleando nanocristales de silicio embebidos en una matriz de nitruro de silicio

, 2016
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