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Propiedades ópticas y estructura de películas delgadas de nitruro de silicio con nano cúmulos de silicio embebidos depositadas por rpecvd

, 2015
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, 2017
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, 2008
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Influencia de la potencia de RF y la presión en la intensidad y posición de los picos de fotoluminiscencia de películas de nitruro de silicio ricas en silicio obtenidas por PECVD

, 2011
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