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Composición y propiedades ópticas de nanocúmulos de silicio embebidos en películas delgadas de nitruro de silicio clorado

, 2013
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Estudio sobre la fotoluminiscencia y la formación de nanocúmulos de silicio en peliculas delgadas de nitruro de silicio

, 2008
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Obtencion de nanocumulos de silicio embebidos en peliculas delgadas de nitruro de silicio : caracterizacion y estudio de fotoluminiscencia

, 2007
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Estudio de las propiedades fotoluminiscentes de películas de nitruro de silicio no estequiométrico

, 2011
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Estudio y construcción de un dispositivo electroluminiscente empleando nanocristales de silicio embebidos en una matriz de nitruro de silicio

, 2016
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Estudio de peliculas delgadas de nitruros de silicio fluorados depositadas por IC-RPECVD

, 2005
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Propiedades ópticas y estructura de películas delgadas de nitruro de silicio con nano cúmulos de silicio embebidos depositadas por rpecvd

, 2015
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Caracterización estructural, óptica y mecánica del oxinitruro de silicio formado espontáneamente durante el depósito de nitruro de silicio por ablasión laser pulsada

, 2017
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Influencia de la razón R[SIH2CL2/NH3] en la intensidad y posición de los picos de fotoluminiscencia de películas de nitruro de silicio ricas en silicio obtenidas por PECVD

, 2008
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Influencia de la potencia de RF y la presión en la intensidad y posición de los picos de fotoluminiscencia de películas de nitruro de silicio ricas en silicio obtenidas por PECVD

, 2011
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